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| 一种高精度的非线性相位误差校正方法 | |
| 引用本文： | 赖姗姗,刘元坤,于馨,袁卓凡.一种高精度的非线性相位误差校正方法[J].光电工程,2021,48(4):44-51. |
| 作者姓名： | 赖姗姗 刘元坤 于馨 袁卓凡 |
| 作者单位： | 四川大学电子信息学院,四川 成都 610065 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;四川省重大科学仪器设备专项 |
| 摘 要： | 在相位测量轮廓术中,测量系统中投影仪等存在的非线性响应大大影响了相位测量的精度,因此,如何快速高效地消除系统中的非线性误差是提高测量精度的关键.本文建立了相位误差的精确模型,并提出了一种基于相位误差精确模型的相位提取方法,利用高步数相移算法预先标定各频谱分量的比例关系,再通过迭代运算即可得到高精度的相位分布.实验结果表... |
| 关 键 词： | 非线性相位误差 相位误差补偿 相位测量轮廓术 后处理 |
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