金刚石的热等离子体化学汽相沉积的工艺研究第Ⅰ部分：基体… 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

金刚石的热等离子体化学汽相沉积的工艺研究第Ⅰ部分：基体…

引用本文：	Lu,ZP 丁晓加.金刚石的热等离子体化学汽相沉积的工艺研究第Ⅰ部分：基体…[J].国外核聚变与等离子体应用,1993(4):45-52.

作者姓名：	Lu ZP 丁晓加

摘要：
关键词：	金刚石热等离子体 CVD
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