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硅微电子技术的极限研究与潜力开拓
引用本文:
郑茳,许居衍.硅微电子技术的极限研究与潜力开拓[J].电子科技导报,1996(9):7-9,28.
作者姓名:
郑茳
许居衍
摘 要:
本文在讨论硅微电子技术发展限制基础上,提出了一个在今后30年内应该引起高度重视的“复合功能电子学”的概念,内容及其实例。
关 键 词:
微电子学
功能电子学
硅微电子技术
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