| 真空微电子器件的进展与问题 |
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| 引用本文： | 庄学曾, 夏善红, 刘光诒. 真空微电子器件的进展与问题[J]. 电子与信息学报, 1997, 19(5): 688-694. |
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| 作者姓名： | 庄学曾 夏善红 刘光诒 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所 北京 100080，北京 100080，北京 100080 |
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| 基金项目： | 中国科学院军工办资助项目 |
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| 摘 要： | 本文简要地叙述了真空微电子学的主要进展,在介绍场发射阵列FEA、场发射显示器FED、真空微电子微波毫米波器件等的发展过程中,重点叙述了有关器件对FEA的特殊要求、可能的解决办法和存在的问题,并介绍了发展真空微电子微波管的主要内容和意义;最后提到了有效地发展我国真空微电子器件需重视的一个问题.
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| 关 键 词： | 真空微电子学 场发射阵列 场发射显示器 微波管 毫米波器件 |
| 收稿时间： | 1996-05-20 |
| 修稿时间： | 1996-12-30 |
A DISCUSSION ON SOME VACUUM MICROELECTRONIC DEVICES |
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| Zhuang Xuezeng, Xia Shanhong, Liu Guangyi. A DISCUSSION ON SOME VACUUM MICROELECTRONIC DEVICES[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1997, 19(5): 688-694. |
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| Authors: | Zhuang Xuezeng Xia Shanhong Liu Guangyi |
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| Affiliation: | Institute of Electronics Academia Sinica Beijing 100080 |
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| Abstract: | A brief introduction of some major vacuum microelectronic devices is presented including field emitter arrays(FEA), feild emission displays(FED) and the vacuum microelectronic devices in microwave and millimeter-wave bands. The paper mainly discusses the requirements for FEA by the mentioned devices, possible solutions to the requirements, and further research topics. As an example, the paper also discusses research topics and problems about vacuum microelectronic microwave tubes. |
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| Keywords: | Vacuum microelectronics Field emission arrays(FEA) Field emission displays(FED) Microwave tubes Millimeter-wave devices |
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