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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
不掺杂半绝缘GaAs的补偿机制
作者姓名:
周炳林
吴征
陈正秀
胡冰华
作者单位:
中国科学院上海治金研究所,中国科学院上海治金研究所,中国科学院上海治金研究所,中国科学院上海治金研究所,中国科学院上海技术物理研究所红外物理开放研究实验室
摘 要:
用红外局域模方法测定了8个不同的不掺杂半绝缘GaAs样品的含碳(C_(As))量,发现碳浓度均小于5.20×10~(14)cm~3。由1.1μm红外吸收测量和400K霍尔系数测量推算出样品的净受主浓度N_A-No,结果表明所有样品的净受主浓度均大于碳浓度,对于切自晶体下半部的样品,差别可达一个数量级。因此,这些受主必定是碳以外的其他杂质缺陷造成的,其中硼(B_(As))可能是主要因素。
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