| MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试 |
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| 引用本文： | 徐肯,王绍清,冯勇建. MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试[J]. 半导体技术, 2004, 29(11): 8-11 |
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| 作者姓名： | 徐肯 王绍清 冯勇建 |
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| 作者单位： | 厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005;厦门大学微机电中心,福建,厦门,361005 |
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| 摘 要： | 介绍了一种用硅-硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺.文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条件下正常工作,且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度,其应用前景十分广阔.
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| 关 键 词： | 微机电系统 高温 传感器 电容式 压力测试 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)11-0008-04 |
Fabrication and Testing of the MEMS High Temperature Capacitive Pressure Micro-sensor |
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| XU Kena,WANG Shao-qinga,FENG Yong-jianb. Fabrication and Testing of the MEMS High Temperature Capacitive Pressure Micro-sensor[J]. Semiconductor Technology, 2004, 29(11): 8-11 |
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| Authors: | XU Kena WANG Shao-qinga FENG Yong-jianb |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS high temperature sensor capacitive pressure testing |
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