| 一种ESD保护结构的集总参数模拟方法 |
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| 引用本文： | 邱国良,李瑞伟,曾莹. 一种ESD保护结构的集总参数模拟方法[J]. 微电子学, 2003, 33(6): 545-549 |
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| 作者姓名： | 邱国良 李瑞伟 曾莹 |
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| 作者单位： | 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 |
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| 摘 要： | 文章提出了一种通过集总参数电路对ESD保护结构进行模拟的方法。利用HSPICE电路模拟软件，对ESD保护结构进行了集总参数模拟，获得了保护结构在ESD事件中的功率和温度分布。
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| 关 键 词： | ESD 保护结构 集总参数 功率分布 温度分布 HSPICE CMOS集成电路 |
| 文章编号： | 1004-3365(2003)06-0545-05 |
| 修稿时间： | 2002-11-11 |
A Simulation Method for ESD Protection Structure |
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| QIU Guo-liang,LI Rui-wei,ZENG Ying. A Simulation Method for ESD Protection Structure[J]. Microelectronics, 2003, 33(6): 545-549 |
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| Authors: | QIU Guo-liang LI Rui-wei ZENG Ying |
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| Abstract: | A simulation method for ESD protection structure is presented in the paper by utilizing lumped-parameter circuit. Both the power and temperature distributions of an ESD protection structure during an ESD event are obtained using HSPICE. |
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| Keywords: | ESD Protection structure Lumped parameter Power distribution Temperature distribution |
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