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硅微机械加工技术
摘 要:
微机械的全称为微电子机械系统,是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法,包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。
关 键 词:
硅微机械加工技术
湿法化学腐蚀
微电子机械系统
表面微机械加工
微加工技术
等离子腐蚀
微电子技术
加工方法
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