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溶胶-凝胶法制备Na/Mg共掺ZnO薄膜的特性研究
引用本文:张彩珍,陈永刚,刘肃,王永顺.溶胶-凝胶法制备Na/Mg共掺ZnO薄膜的特性研究[J].材料导报,2013,27(4):1-3.
作者姓名:张彩珍  陈永刚  刘肃  王永顺
作者单位:1. 兰州交通大学电子与信息工程学院,兰州,730070
2. 兰州交通大学自动化与电气工程学院,兰州,730070
3. 兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000
基金项目:甘肃省高校基本科研基金
摘    要:利用溶胶-凝胶旋涂法制备了Na/Mg共掺ZnO薄膜。通过与未掺杂及只掺Mg的ZnO薄膜的对比分析,重点研究了Na/Mg共掺ZnO薄膜的结构、光学及电学特性。扫描电子显微镜(SEM)图像、X射线衍射(XRD)图谱、透射光谱及PL谱的分析结果表明,Na/Mg共掺有利于提高ZnO薄膜的结晶特性及c轴择优取向性。Na/Mg共掺会使得ZnO薄膜的禁带宽度增加,但增加的幅度小于单独掺Mg引起的禁带宽度增加。消除氧空位缺陷后,Na/Mg共掺ZnO薄膜将是一种很好的紫外发光材料。霍尔效应分析结果表明,Na/Mg共掺杂可将ZnO薄膜导电性从N型转变为P型,且使电阻率有很大幅度的增加。

关 键 词:ZnO  Na/Mg共掺  溶胶-凝胶  薄膜

Research on Properties of Na/Mg Co-doped ZnO Thin Films Derived by Sol-Gel Method
ZHANG Caizhen,CHEN Yonggang,LIU Su,WANG Yongshun.Research on Properties of Na/Mg Co-doped ZnO Thin Films Derived by Sol-Gel Method[J].Materials Review,2013,27(4):1-3.
Authors:ZHANG Caizhen  CHEN Yonggang  LIU Su  WANG Yongshun
Affiliation:1(1 School of Electronic and Information Engineering,Lanzhou Jiaotong University,Lanzhou 730070; 2 School of Automation & Electrical Engineering,Lanzhou Jiaotong University,Lanzhou 730070; 3 School of Physical Science and Technology,Lanzhou University,Lanzhou 730000)
Abstract:
Keywords:
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