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| 电容薄膜规规管零漂的改善 | |
| 引用本文： | 李正海.电容薄膜规规管零漂的改善[J].真空与低温,1987(4). |
| 作者姓名： | 李正海 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 从1949年开始到现在,国外已研制出四代电容薄膜压力传感器.第一代是差压式双边对称电极的传感器;第二代是绝对式单边双电极的传感器;第三代在测量线路上有了很大的改进;第四代是对式单边单电极的传感器,首先分析了造成电容压力传感器稳定性差的6种原因。认为环境温度的改变和规管焊接应力是造成规管零漂的主要因素。并对这两种主要因素提出了相应的解决办法.温度变化的影响采用恒温的方法来解决.焊接应力的影响采用以粘代焊的方法来消除.采用这两种措施以后,电容薄膜规的稳定性有了较大的改善. |
| 关 键 词： | 薄膜式真空计 稳定性 电容式传感器 |
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