| 电容传感微小孔径的测量方法 |
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| 引用本文： | 孙长库,王小兵,刘斌,郑义忠.电容传感微小孔径的测量方法[J].纳米技术与精密工程,2006,4(2):103-106. |
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| 作者姓名： | 孙长库 王小兵 刘斌 郑义忠 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 分析了电容传感器的基本原理，推导了电容传感器测量小孔内径的数学模型，组建了电容传感微孔测量系统。研究了Ф3mm微孔电容传感器的制作方法及测量系统的标定方法．所制作的测孔传感器经标定后，测量分辨率达到0．01μm．该测量系统操作简单，可通过USB接口、结合测量软件在计算机上直接读出微小孔的内径值。
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| 关 键 词： | 电容传感器 微小孔径 非接触测量 标定 |
| 文章编号： | 1672-6030（2006）02-0103-04 |
| 收稿时间： | 2005-06-25 |
| 修稿时间： | 2005年6月25日 |
Capacitance Sensor Measurement Method for Micro-Aperture |
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| SUN Chang-ku,WANG Xiao-bing,LIU Bin,ZHENG Yi-zhong.Capacitance Sensor Measurement Method for Micro-Aperture[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2006,4(2):103-106. |
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| Authors: | SUN Chang-ku WANG Xiao-bing LIU Bin ZHENG Yi-zhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | capacitance sensor micro-aperture non-contact measurement calibration |
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