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离子束混合技术制备TiN薄膜的时效研究

引用本文：	阎鹏勋.离子束混合技术制备TiN薄膜的时效研究[J].薄膜科学与技术,1992,5(4):18-23.

作者姓名：	阎鹏勋

摘要：
关键词：	离子束混合时效薄膜 TiN
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