| 偏轴射频磁控溅射生长 LiPON 在高性能全固态
薄膜锂离子电池中的应用 |
| |
| 引用本文： | 肖东丽,童君.偏轴射频磁控溅射生长 LiPON 在高性能全固态
薄膜锂离子电池中的应用[J].集成技术,2017,6(6):24-30. |
| |
| 作者姓名： | 肖东丽 童君 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院深圳先进技术研究院 光子信息与能源材料研究中心 深圳 518055;中国科学技术大学 纳米科学技术学院 苏州 215123;2. 中国科学院深圳先进技术研究院 光子信息与能源材料研究中心 深圳 518055 |
| |
| 基金项目： | 深圳市基础研究项目(自由探索) |
| |
| 摘 要： | 全固态薄膜锂离子电池(Thin Film Lithium Ion Battery,TFLB)在微型器件储能领域具有巨大的应用潜力,传统上多采用射频磁控溅射生长LiPON薄膜的方法获得稳定的固态电解质层.文章主要研究了基于偏轴磁控溅射技术的LiPON薄膜制备方法,通过改变薄膜沉积过程中的N2气压值,在0.2 Pa气压下获得了锂离子电导率达到2.4×10-6 S?cm-1的固态电解质层;同时,将优化后的LiPON薄膜应用于LiCoO2/LiPON/Li结构的TFLB中.实验结果表明,TFLB在0.1 C倍率下首次放电容量可达62.1μA?h?cm-2?μm-1,而在高倍率(4 C)条件下放电容量依然可达51.7μA?h?cm-2?μm-1,经过0.1 C、0.5 C、1 C、2 C、4 C倍率条件下各5次充放电循环后,TFLB在0.1 C倍率下的容量保有率仍高达90%,展示出了良好的器件性能.
|
| 关 键 词： | 全固态薄膜锂离子电池 锂磷氧氮 固态电解质 |
| 收稿时间： | 2017/8/14 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2017/9/21 0:00:00 |
The Application of LiPON by Off-axis RF Magnetron Sputtering Growth
in High Performance All-Solid-State Thin Film Lithium Ion Battery |
| |
| Authors: | XIAO Dongli and TONG Jun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | all-solid-state thin film Lithium ion battery LiPON solid state electrolyte |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《集成技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《集成技术》下载全文 |
|
