| Ti 和 TiN 薄膜的制备以及残余应力的测试方法研究 |
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| 引用本文： | 石 磊,蒋春磊,唐永炳. Ti 和 TiN 薄膜的制备以及残余应力的测试方法研究[J]. 集成技术, 2017, 6(4): 20-28 |
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| 作者姓名： | 石 磊 蒋春磊 唐永炳 |
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| 作者单位： | 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳 518055 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，广东省创新团队项目，广东省科技计划项目，深圳市科技计划项目，广东省工程中心项目，深圳市工程实验室项目，中科院院级科研装备项目 |
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| 摘 要： | 基底曲率半径法是一种测量薄膜残余应力的常用方法,其中的光杠杆法应用最为广泛.文章在SUS304基底上使用电弧离子镀法制备了不同厚度的钛(Ti)和氮化钛(TiN)薄膜,研究了薄膜的形貌、密度以及物相,基于光杠杆原理分别从正面(正测法)和反面(背测法)对两种薄膜样品镀膜前后基底的曲率半径进行了测量,采用Stoney公式计算薄膜残余应力.通过对比正测法和反测法的测试结果,结合薄膜形貌、密度以及晶体结构表征分析,对背测法的测试误差和适用范围进行了分析.研究结果表明,背测法测得的应力值低于正测法的测量结果,薄膜残余应力水平越高,背测法的测量结果与正测法越接近:当薄膜残余应力水平较高(>1 GPa)时,背测法结果可以如实反映薄膜的应力水平;但当薄膜应力水平较低(<1 GPa)时,背测法结果存在较大误差.
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| 关 键 词： | 薄膜 残余应力 光杠杆法 正测法 背测法 |
| 收稿时间： | 2017-06-06 |
| 修稿时间： | 2017-06-21 |
Preparation of Ti and TiN Films and Investigation of the Residual StressMeasuring Method |
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| SHI Lei,JIANG Chunlei and TANG Yongbing. Preparation of Ti and TiN Films and Investigation of the Residual StressMeasuring Method[J]. , 2017, 6(4): 20-28 |
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| Authors: | SHI Lei JIANG Chunlei TANG Yongbing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | films residual stress optical lever positive test method negative test method |
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