| 卷对卷紫外压印超疏水薄膜的工艺及装置 |
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| 引用本文： | 邹业兵,王智伟,吴天准,彭智婷. 卷对卷紫外压印超疏水薄膜的工艺及装置[J]. 集成技术, 2017, 6(3): 59-67. DOI: 10.3969/j.issn.2095-3135.2017.03.006 |
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| 作者姓名： | 邹业兵 王智伟 吴天准 彭智婷 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳518055;浙江大学 杭州310027;2. 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳518055;3. 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳518055;中南林业科技大学 长沙410004 |
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| 基金项目： | 深圳市知识创新计划技术研究 |
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| 摘 要： | 为了实现大面积、批量化制备超疏水表面材料,文章开发了一种新型的卷对卷紫外压印技术并研制了相应装置.通过卷对卷微纳压印及快速光固化紫外固化胶将母版上的精细微米图形转移到目标柔性衬底上,无需复杂的制备工艺或苛刻的洁净加工环境,实现超疏水薄膜的快速、高效、批量化制备.文章着重讨论了应用于制备超疏水薄膜的卷对卷紫外压印工艺过程及对应各工艺而设计的机械功能模块.经工艺改进,选用改性的紫外固化胶,转印复制了20 μm×40 μm×17 μm(直径×间距×柱高)的微结构阵列,所得超疏水薄膜经氟化处理后与水接触角可达150°以上.最后,尝试使用该装置制备T型微纳结构阵列以获得疏水性更佳的表面材料.
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| 关 键 词： | 卷对卷 超疏水 紫外固化 微纳加工 |
Development of a Roll-to-Roll Ultraviolet Imprint Lithography Equipmentfor Superhydrophobic Film Fabrication |
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| ZOU Yebing,WANG Zhiwei,WU Tianzhun and PENG Zhiting. Development of a Roll-to-Roll Ultraviolet Imprint Lithography Equipmentfor Superhydrophobic Film Fabrication[J]. , 2017, 6(3): 59-67. DOI: 10.3969/j.issn.2095-3135.2017.03.006 |
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| Authors: | ZOU Yebing WANG Zhiwei WU Tianzhun PENG Zhiting |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | roll-to-roll superhydrophobic UV curing micro/nano fabrication |
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