如何通过高纯水提升多晶硅品质 |
| |
引用本文: | 张瑞灵.如何通过高纯水提升多晶硅品质[J].新材料产业,2008(10). |
| |
作者姓名: | 张瑞灵 |
| |
作者单位: | 深圳恒通源水处理科技有限公司 |
| |
摘 要: | 多晶硅的生产工序复杂,在多晶硅生产中,高纯水主要是用来清洗产品的,几乎每道工序都要使用高纯水,这样产品与水直接接触,使得加工过程中产生的微量污染得以洗净,所以,高纯水品质的好坏将对多晶硅质量起到重要影响。在此生产过程中,如果高纯水中含有微量杂质就有可能使产品再次受到污染,使成品率下降,由此看来,高品质的纯水对多晶硅生产就显得尤为重要。
|
关 键 词: | 高纯水 多晶硅 品质 水提 生产工序 直接接触 加工过程 生产过程 |
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录! |
|