首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

如何通过高纯水提升多晶硅品质
引用本文:张瑞灵.如何通过高纯水提升多晶硅品质[J].新材料产业,2008(10).
作者姓名:张瑞灵
作者单位:深圳恒通源水处理科技有限公司
摘    要:多晶硅的生产工序复杂,在多晶硅生产中,高纯水主要是用来清洗产品的,几乎每道工序都要使用高纯水,这样产品与水直接接触,使得加工过程中产生的微量污染得以洗净,所以,高纯水品质的好坏将对多晶硅质量起到重要影响。在此生产过程中,如果高纯水中含有微量杂质就有可能使产品再次受到污染,使成品率下降,由此看来,高品质的纯水对多晶硅生产就显得尤为重要。

关 键 词:高纯水  多晶硅  品质  水提  生产工序  直接接触  加工过程  生产过程
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号