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| 工作平晶平面度测量不确定度评定 | |
| 引用本文： | 刘丽娟. 工作平晶平面度测量不确定度评定[J]. 中国测试技术, 2003, 29(2): 30-32 |
| 作者姓名： | 刘丽娟 |
| 作者单位： | 湖南省计量测试技术研究所,长沙,410004 |
| 摘 要： | 本文对JJG2 8-2 0 0 0《平晶》中以等厚干涉法检定工作平晶 (D3 0mm～ 10 0mm)平面度的方法进行了分析、评定 ,得出了平面度的测量结果不确定度。 |
| 关 键 词： | 工作平晶 平面度 等厚干涉法 不确定度 行业标准 评定 |
Evaluation of measuring uncertainty on the working plane optical flat |
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