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| 非对称磁透镜物镜的数字计算 | |
| 引用本文： | 孙占峰,Erich Plies,张永明.非对称磁透镜物镜的数字计算[J].电子显微学报,2003,22(4):358-361. |
| 作者姓名： | 孙占峰 Erich Plies 张永明 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院北京科学仪器研制中心,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039 2. 德国Tuebingen大学应用物理研究所 3. 中国科学院北京科学仪器研制中心,北京,100080 |
| 摘 要： | 采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜(SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计。本文通过采用已发表的通用数据和用软件计算实际透镜得到的数据来计算电子束斑直径，研究非对称透镜物镜的光学特性。德国Tuebingen大学应用物理研究所的一个扫描电子显微镜电子光学系统采用了本文的计算结果。 |
| 关 键 词： | 扫描电子显微镜 球差 色差 衍射 束斑尺寸 物镜计算 |
| 文章编号： | 1000-6281(2003)04-0358-04 |
Numerical calculation of asymmetrical magnetic electron objective lens |
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| Michael Rauscher,Erich Plies.Numerical calculation of asymmetrical magnetic electron objective lens[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2003,22(4):358-361. | |
| Authors: | Michael Rauscher Erich Plies |
| Abstract: | Using the numerical software to calculate optical properties of asymmetrical magnetic electron objective lens, the optimum design can be obtained under certain requirements. The calculation of probe diameter was carried out by using the data from analytical and numerical methods in this paper. The results and data comparison were gathered in graphs and tables which were used in a scanning electron microscope experiment of the Institute of Applied Physics, University of Tuebingen, Germany. |
| Keywords: | SEM spherical aberration chromatic aberration diffraction probe diameter |
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