隧道磁阻加速度计温度补偿技术研究

隧道磁阻传感具有灵敏度高、功耗低和体积小等特点。利用其高敏感特性，采用力、磁、电多物理场耦合可以实现加速度的高精度测量。针对存在温度漂移的问题，在研究隧道磁阻传感器的温度误差产生机制的基础上，对其本身进行温度误差补偿；同时结合加速度计测量系统及其温度特性，采用Elman神经网络构建系统的温度补偿模型，并利用粒子群算法优化网络参数。实测数据表明，补偿后的加速度计标度因子温度系数从719ppm/℃减小为193ppm/℃，全温零偏极差从125mg减小为5.2mg，验证了该方法能有效提升隧道磁阻加速度计的温度性能。