| SU-8微针执行器的研究 |
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| 引用本文： | 秦宁,赵湛,陈绍凤,夏善红.SU-8微针执行器的研究[J].微纳电子技术,2003,40(7):474-476. |
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| 作者姓名： | 秦宁 赵湛 陈绍凤 夏善红 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 863计划(2002AA404230);国家自然科学基金(20299030);973计划(B1999033102)资助项目 |
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| 摘 要： | 设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器.执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等.通过外部磁场可以实现双向线性驱动.本文主要介绍了利用SU-8光刻胶材料,采用多级曝光实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件.微针的尺寸为600μm×800μm×40μm,微针孔径截面为20μm×20μm,并给出了SEM分析的研究结果.
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| 关 键 词： | SU-8光刻胶材料 微针执行器 电磁驱动 微量取样执行器 MEMS |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0474-03 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Research of SU-8 photoresist micro-actuator |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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