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| 扎波罗热钛镁联合企业的半导体硅与锗的生产技术状况 | |
| 引用本文： | 法.,ЗС 兰春梅.扎波罗热钛镁联合企业的半导体硅与锗的生产技术状况[J].稀有金属,1995,19(1):69-71. |
| 作者姓名： | 法. ЗС 兰春梅 |
| 作者单位： | 北京三晶电子有限公司 |
| 摘 要： | 扎波罗热钛镁联合企业具有３０余年的半导体生产历史，拥有从原料制备，单晶生长到成品加工的系统工艺，该厂生产规模较大，技术水平高，还有强大的研究开发与检验测试组织。 |
| 关 键 词： | 硅单晶 硅多晶 锗单晶 生产 半导体 |
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