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分类号
杂志ISSN号
扎波罗热钛镁联合企业的半导体硅与锗的生产技术状况
作者姓名:
法.
ЗС 兰春梅
作者单位:
北京三晶电子有限公司
摘 要:
扎波罗热钛镁联合企业具有30余年的半导体生产历史,拥有从原料制备,单晶生长到成品加工的系统工艺,该厂生产规模较大,技术水平高,还有强大的研究开发与检验测试组织。
关 键 词:
硅单晶 硅多晶 锗单晶 生产 半导体
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