半导体硅材料进展

综述了国内外硅材料研究动态，分析了电子工业的发展对硅材料的新要求，讨论了硅单晶大直径化，磁场拉晶，连续投料拉晶，粒状多晶等工艺问题及硅材料的市行情，展望了半导体硅材料的发展前景。