| 基于局部保持嵌入–K近邻比率密度的半导体 蚀刻过程故障诊断策略 |
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| 引用本文： | 张成,郑百顺,郭青秀,冯立伟,李元.基于局部保持嵌入–K近邻比率密度的半导体 蚀刻过程故障诊断策略[J].控制理论与应用,2020,37(6):1342-1348. |
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| 作者姓名： | 张成 郑百顺 郭青秀 冯立伟 李元 |
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| 作者单位： | 沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳110142;沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳110142;沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳110142;沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳110142;沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳110142 |
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| 基金项目： | 辽宁省教育厅项目;辽宁省自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对多模态间歇过程存在数据维度高且方差差异较大的特征,提出一种基于局部保持嵌入–K近邻比率密度(NPE–KRD)规则的故障检测方法.首先,利用局部保持嵌入(NPE)方法将原始的高维数据投影到低维空间;其次,在低维空间通过计算样本的密度及其前K近邻密度的均值来建立K近邻比率密度(KRD);最后,根据核密度估计法确定统计量控制限并进行故障诊断. NPE方法既能够在低维空间保持数据局部近邻结构,又能够降低故障检测过程的计算复杂度.通过引入比率密度, NPE–KRD可以降低多模态方差结构差异对故障检测的影响,提高过程故障检测率.通过数值例子和半导体工业过程的仿真实验,并与主元分析、K近邻、局部保持嵌入等方法进行比较,验证了本文方法的有效性.
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| 关 键 词： | 局部保持嵌入 K近邻比率密度 半导体蚀刻过程 故障诊断 多工况 |
| 收稿时间： | 2019/4/19 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2019/11/29 0:00:00 |
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