| 窄流道式MOCVD制备YGBCO超导层研究 |
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| 引用本文： | 苟继涛,赵睿鹏,徐一鲡,贺冠园,陈然,陶伯万.窄流道式MOCVD制备YGBCO超导层研究[J].真空科学与技术学报,2019,39(6):466-471. |
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| 作者姓名： | 苟继涛 赵睿鹏 徐一鲡 贺冠园 陈然 陶伯万 |
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| 作者单位： | 1.电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054 |
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| 摘 要： | 金属有机化学气相沉积能连续、快速的沉积高温超导带材YBa2Cu3O7-x (YBCO) 超导层。但金属有机源的利用率与薄膜沉积速率以及沉积一致性难以兼顾, 制备YBCO高温超导带材的成本居高不下。本文提出了一种新的窄流道式反应室以改进薄膜沉积的一致性。在200 mm长度腔体中沉积的280 nm厚的Y0.5Gd0.5Ba2Cu3O7-x薄膜Jc分布在3.2~3.5 MA/cm2 (77 K, 0 T), 面外、面内半高宽值分别在1.39°~1.49°和1.88°~2.13°, 表面平整致密。YBCO薄膜良好的一致性表明该窄流道反应室对制备YBa2Cu3O7-x超导带材有好的实用性。
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| 关 键 词： | 窄流道 金属有机化学气相沉积 YBa2Cu3O7-x 高温超导带材 |
| 收稿时间： | 2019-03-05 |
Synthesis of YGBCO Superconducting Coatings by Metal Organic Chemical Vapor Deposition in Narrow Rectangular-Wedge Reactor |
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| Gou Jitao,Zhao Ruipeng,Xu Yili,He Guanyuan,Chen Ran,Tao Bowan.Synthesis of YGBCO Superconducting Coatings by Metal Organic Chemical Vapor Deposition in Narrow Rectangular-Wedge Reactor[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2019,39(6):466-471. |
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| Authors: | Gou Jitao Zhao Ruipeng Xu Yili He Guanyuan Chen Ran Tao Bowan |
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| Affiliation: | 1.State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of Electronic, Chengdu 610054, China |
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| Abstract: | Gou Jitao;Zhao Ruipeng;Xu Yili;He Guanyuan;Chen Ran;Tao Bowan(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of Electronic,Chengdu 610054,China) |
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| Keywords: | Narrow chamber MOCVD YBCO High temperature superconducting tape |
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