| 晶圆FAB厂罗茨真空泵用永磁电机研发设计与实验 |
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| 引用本文： | 安跃军,娄利岗,杨天宇,王光玉,孔祥玲,邓文宇,段永利,齐丽君.晶圆FAB厂罗茨真空泵用永磁电机研发设计与实验[J].真空科学与技术学报,2019(3):185-190. |
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| 作者姓名： | 安跃军 娄利岗 杨天宇 王光玉 孔祥玲 邓文宇 段永利 齐丽君 |
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| 作者单位： | 沈阳工业大学电气工程学院;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司干泵事业部;中北通磁科技股份有限公司技术中心 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项(2017ZX02201005-002) |
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| 摘 要： | 为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求,本文设计了一台1.5 kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机。采用多极少槽的极槽配合方案,减少变频器及供电装置中高次谐波对电机运行性能和损耗温升的影响。基于场路耦合思想及商业有限元软件,完成了电机拓扑结构及电磁设计,仿真结果验证了电磁设计及结构的合理性;通过三维温度场研究,表明该设计可应用于真空泵类工程之中。最后对样机进行了电机性能实验,实验数据与设计指标比较吻合,对罗茨真空泵进行性能测试实验,进一步验证了罗茨真空泵驱动用高速永磁电机设计的合理性,新研发电机满足泵的各项性能指标要求,研究工作具有工程实用价值。
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| 关 键 词： | 罗茨真空泵 高速永磁电机 多极少槽 场路耦合 温度场 |
Novel Permanent-Magnet Motor for Roots Vacuum Pump in Wafer Fabrication:A Simulation and Experimental Study |
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| An Yuejun,Lou Ligang,Yang Tianyu,Wang Guangyu,Kong Xiangling,Deng Wenyu,Duan Yongli,Qi Lijun.Novel Permanent-Magnet Motor for Roots Vacuum Pump in Wafer Fabrication:A Simulation and Experimental Study[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2019(3):185-190. |
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| Authors: | An Yuejun Lou Ligang Yang Tianyu Wang Guangyu Kong Xiangling Deng Wenyu Duan Yongli Qi Lijun |
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| Affiliation: | (School of Electrical Engineering, Shenyang University of Technology, Shenyang 110870,China;Vacuum Dry Pump Business Division SKY Technology Development CO. Ltd Chinese Academy of Sciences ,Shenyang 110179, China;Technical Center Shenyang general Magnet Technology Co. Ltd..Shenyang 110159 ,China) |
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| Abstract: | An Yuejun;Lou Ligang;Yang Tianyu;Wang Guangyu;Kong Xiangling;Deng Wenyu;Duan Yongli;Qi Lijun(School of Electrical Engineering, Shenyang University of Technology, Shenyang 110870,China;Vacuum Dry Pump Business Division SKY Technology Development CO. Ltd Chinese Academy of Sciences ,Shenyang 110179, China;Technical Center Shenyang general Magnet Technology Co. Ltd..Shenyang 110159 ,China) |
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| Keywords: | Roots vacuum pump High speed permanent magnet motor Multi-pole and less slot Field coupling Temperature field |
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