| 步进扫描工作台气浮结构分析 |
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| 引用本文： | 李若庆. 步进扫描工作台气浮结构分析[J]. 电子工业专用设备, 2003, 32(3): 45-51 |
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| 作者姓名： | 李若庆 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所,燕郊,065201 |
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| 摘 要： | 着重分析了步进扫描工作台的气浮结构及原理,指出了气浮设计及控制中需要注意的一些问题。
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| 关 键 词： | 步进扫描工作台 平均移动误差 移动标准误差 微动台 气浮导轨 气足 |
| 文章编号： | 1004-4507(2003)03-0045-07 |
| 修稿时间： | 2003-03-05 |
The Pneumatic Structure Analysis of Step&Scan Stage |
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| LI Ruo-qing. The Pneumatic Structure Analysis of Step&Scan Stage[J]. Equipment for Electronic Products Marufacturing, 2003, 32(3): 45-51 |
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| Authors: | LI Ruo-qing |
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| Abstract: | This paper mainly analyzes the pneumatic structure and the principle of the step&scan stage,pointing out some concerned issues in pneumatic design&control. |
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| Keywords: | Step&Scan Stage MA MSD Micro Positioning Stage Air Guide Air Foot |
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