| 三维光成型基础固化工艺的仿真和实验研究 |
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| 引用本文： | 马德盛,王翔,赵钢,黄文浩. 三维光成型基础固化工艺的仿真和实验研究[J]. 微细加工技术, 2005, 0(2): 39-45 |
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| 作者姓名： | 马德盛 王翔 赵钢 黄文浩 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275140) |
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| 摘 要： | 在紫外光对液态树脂进行固化成型过程中，扫描光斑的直径、光强和扫描速度等工艺参数对固化结果有着直接影响。首先结合高斯光束的固化理论分析，从平面固化成型基本要素的直线段、圆弧线段的线宽、线高及其精度入手，在理论上分别得到线宽、线高与工艺参数之间的正比关系和指数关系；其次，通过Matlab的建模计算，明确了光强度和扫描速度的变化对固化线宽和线高影响程度的相近性，其中，扫描速度大于600μm／s后，随着速度的增大其产生的误差也越大，并通过实验研究验证了理论分析和建模方法的正确性。最后，通过仿真和实验对工艺参数以及扫描方式的优化，有效地解决了平面轮廓固化扫描中转向拐点处重复曝光引起的固化精度问题。
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| 关 键 词： | 光成型 高斯光束 光固化 固化仿真 |
| 文章编号： | 1003-8213(2005)02-0039-07 |
| 修稿时间： | 2004-12-23 |
Study on Simulation and Experiment of Foundational Solidification Process for Stereo Photo Lithography |
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| MA De-sheng,WANG Xiang,ZHAO Gang,HUANG Wen-hao. Study on Simulation and Experiment of Foundational Solidification Process for Stereo Photo Lithography[J]. Microfabrication Technology, 2005, 0(2): 39-45 |
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| Authors: | MA De-sheng WANG Xiang ZHAO Gang HUANG Wen-hao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | stereo photo lithography Gaussian beam solidification solidification simulation |
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