超大量程电容式加速度敏感结构仿真分析 |
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引用本文: | 李明旭,揣荣岩,杨宇新.超大量程电容式加速度敏感结构仿真分析[J].微处理机,2022(3):21-24. |
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作者姓名: | 李明旭 揣荣岩 杨宇新 |
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作者单位: | 沈阳工业大学信息科学与工程学院 |
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摘 要: | 为适应钻地导弹、穿甲导弹等军事应用场景对加速度传感器高过载、大量程、高线性的需求,对基本MEMS加速器结构加以改进,提出一种超大量程电容式联动薄膜加速度敏感结构。通过COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件,采用控制变量法,对结构进行有限元分析和仿真优化,确定结构的具体尺寸和性能参数,在保证量程需求的前提下进一步提高线性度、灵敏度和抗过载特性,并根据结构特点和实际条件确定基本工艺流程。仿真分析结果进一步验证了该结构的工艺可行性及应用优势。
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关 键 词: | 微机电系统 加速度敏感结构 超大量程 高过载 |
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