超大量程电容式加速度敏感结构仿真分析

为适应钻地导弹、穿甲导弹等军事应用场景对加速度传感器高过载、大量程、高线性的需求，对基本MEMS加速器结构加以改进，提出一种超大量程电容式联动薄膜加速度敏感结构。通过COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件，采用控制变量法，对结构进行有限元分析和仿真优化，确定结构的具体尺寸和性能参数，在保证量程需求的前提下进一步提高线性度、灵敏度和抗过载特性，并根据结构特点和实际条件确定基本工艺流程。仿真分析结果进一步验证了该结构的工艺可行性及应用优势。