高灵敏纸基无湿敏材料电容式湿度传感器

为了拓宽湿度传感器的应用范围，兼顾其可穿戴、低成本、高灵敏度等优点，提出了一种电容式纸基无湿敏材料湿度传感器。以叉指电极(interdigital electrode, IDE)为基本结构，利用有限元仿真软件COMSOL Multipysics仿真研究了IDE指数对传感器性能的影响，得到具有良好湿敏特性的传感器结构。利用丝网印刷工艺制作电容式纸基湿度传感器，进行湿敏特性测试，系统研究了纸基类型、工作频率对传感器性能的影响，验证了其工艺一致性、重复性和长期稳定性。实验结果表明：以柯达相纸为基底的20指IDE传感器在1 V/200 Hz的测试电压下具有高达7 379%的灵敏度、响应/恢复时间为108 s/131 s,表现出良好的重复性和长期稳定性。