V掺杂ZnO薄膜磁控溅射制备及其压敏性能 |
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引用本文: | 黄青武,周芃,宋武林.V掺杂ZnO薄膜磁控溅射制备及其压敏性能[J].广州化工,2022(14):78-80. |
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作者姓名: | 黄青武 周芃 宋武林 |
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作者单位: | 华中科技大学分析测试中心 |
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基金项目: | 湖北省自然科学基金项目(No:2020CFB664); |
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摘 要: | 用磁控溅射成功制备出V掺杂ZnO压电薄膜。在不同温度对样品进行退火处理,采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的表面形貌、晶体结构和表面化学状态进行表征,并测量了不同退火温度下薄膜样品的电流密度(J)-电压(V)曲线。结果表明,高温退火后V向ZnO晶格内部迁移,引起晶格畸变,形成表面氧空位。随着退火温度的升高,非线性系数先增大后减小,薄膜的压敏电压逐渐增大,漏电流密度先减小后增大。800℃退火后样品表面氧空位浓度最高,薄膜具有较为理想的综合电性能,其非线性系数为15.19,压敏电压为5.13 V,漏电流密度为0.42μA·mm-2。
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关 键 词: | ZnO陶瓷薄膜 掺杂 磁控溅射 XPS 退火温度 |
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