面向干式电抗器的氟碳纳米结构薄膜性能调控方法研究 |
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引用本文: | 赵琦,满玉岩,李苏雅,李松原,李琳.面向干式电抗器的氟碳纳米结构薄膜性能调控方法研究[J].真空,2022(6):51-55. |
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作者姓名: | 赵琦 满玉岩 李苏雅 李松原 李琳 |
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作者单位: | 1. 国网天津市电力公司电力科学研究院;2. 天津市电力物联网企业重点实验室;3. 国网天津市电力公司 |
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摘 要: | 氟碳薄膜具有低介电常数和摩擦系数、高热稳定性和化学惰性、强紫外吸收等优点,作为表面修饰材料,有望提升干式电抗器运行时的环境耐候性和绝缘稳定性。以磁控溅射技术制备氟碳薄膜具有杂质粒子污染少、沉积面积大、反应物成本低、无环境污染等优点。溅射过程中等离子体状态是影响薄膜质量的关键因素,本文讨论了真空室温度和基底温度协同作用对氟碳薄膜化学组分、微结构、沉积速率和微观形貌的影响。结果表明:温度直接作用于溅射组分的产生、输运和沉积过程;温度升高使薄膜表面呈现颗粒-团簇-三维网状结构的形貌演化规律;随溅射温度增加,沉积速率、粗糙度、氟碳比和sp3杂化碳占比增大,薄膜朝类聚四氟乙烯(PTFE-like)的方向发展,有望获得更优异的理化特性。
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关 键 词: | 氟碳薄膜 磁控溅射 微纳结构 理化特性 |
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