退火温度对原子层沉积TiO2薄膜结构、形貌和光学性能影响 |
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引用本文: | 赵恒利,杨德威,何永泰,李赛,杨培志.退火温度对原子层沉积TiO2薄膜结构、形貌和光学性能影响[J].中国陶瓷,2022(8):16-21. |
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作者姓名: | 赵恒利 杨德威 何永泰 李赛 杨培志 |
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作者单位: | 1. 楚雄师范学院物理与电子科学学院;2. 云南师范大学可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(U1802257); |
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摘 要: | 采用原子层沉积技术(ALD)在石英衬底上制备了TiO2薄膜,并对其进行不同温度的快速光热退火处理。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼(Raman)光谱、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和紫外-可见分光光度计(UV-Vis)对薄膜进行表征。研究了退火温度对薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响。结果表明:当薄膜未退火时,其具有非晶态性质;薄膜在300~600℃的范围下退火时,其具有结晶态性质。当样品在未退火下,其表面粗糙度和光学带隙分别为17.226 nm和3.57 eV;随着退火温度不断升至600℃时,薄膜的表面粗糙度增至30.713 nm变大,晶粒尺寸增至24.75 nm,光学带隙减至3.41 eV。此外,样品的折射率和消光系数随着退火温度的升高呈下降趋势。在实验条件下,最佳退火温度为600℃。
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关 键 词: | TiO2薄膜 原子层沉积(ALD) 快速光热退火(RPTA) 光学性能 |
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