fF量级在片小电容定标方法及不确定度评定

文章根据集成电路在片测试系统的组成结构和工作原理，以研制的集成电路fF （飞法）级在片小电容标准样片为基础，设计并制备了10 fF～500 fF系列在片小电容标准样片，处于国内领先水平。在有效减小电缆、探针影响的同时，研建了集成电路在fF级片小电容定值装置，研究了集成电路fF级在片小电容定标方法及不确定度评定。该方法可用于14 nm以下集成电路FinFET、 GGAFET器件及碳纳米管等新结构、新原理器件的研发过程中，确保超先进工艺制程研发中小于1 pF量级在片电容量值的准确可靠。