物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究 |
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作者姓名: | 邓仲华 常振东 徐雷 胡江玮 蔡妍 牟仁德 |
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作者单位: | 1. 京东方科技集团股份有限公司;2. 中国航发北京航空材料研究院 |
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基金项目: | 国家重大科技专项(J2019-VI-0002-0115); |
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摘 要: | 为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究。首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和Zr O2·Y2O3(YSZ)涂层,研究了研磨液粒径、研磨时间等参数与磨坑直径的关系,随后根据试验结果对高温合金试片涂覆的NiCrAlYSi/YSZ热障涂层使用球坑测厚法进行了厚度测量,并与金相测厚法结果进行了对比。结果表明:NiCrAlYSi涂层和YSZ涂层磨坑直径与研磨时间均满足抛物线增加关系;相同条件下,所用研磨液粒径为5μm和10μm时获得的磨坑直径相当,均比1μm时的大;针对同一涂层,球坑测厚法与金相测厚法测量结果吻合度高,误差在6%以内。
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关 键 词: | 热障涂层 物理气相沉积 涂层厚度 球坑仪 |
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