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| Cr金属薄膜温度传感器的研究 | |
| 引用本文： | 闫卫平,朱剑波,马灵芝,郭吉洪. Cr金属薄膜温度传感器的研究[J]. 仪器仪表学报, 2004, 25(Z1): 310-311 |
| 作者姓名： | 闫卫平 朱剑波 马灵芝 郭吉洪 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学电子系,大连,116024 2. 大连理工大学微系统研究中心,大连,116024 |
| 基金项目： | 本文系国家自然科学基金资助项目(60174034). |
| 摘 要： | 采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器.探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响.通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器. |
| 关 键 词： | 温度传感器 Cr金属薄膜 电阻温度系数 |
The Research of Cr Metal Membrane Temperature Sensor |
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