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纳米级掺杂超晶格的生长及其性质研究
作者姓名:
崔立奇 张文俊
摘 要:
评术字制备纳米级掺杂结超晶格材料的MBE技术,给出了材料性能和器件研制结果,从微结构设计出发,研究了平面掺杂GaAs/Al(Ga)As超晶格结构二维电子气有关性质,实验研究取得了重要的进展。
关 键 词:
分子束外延 平面掺杂 二维电子气 超晶格器件
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