| 基于MEMS方块谐振器的10 MHz振荡器 |
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| 引用本文： | 鲍飞鸿,NGUYEN Tan-lo,李昕熠,潘明争,鲍景富.基于MEMS方块谐振器的10 MHz振荡器[J].太赫兹科学与电子信息学报,2016,14(5):820-824. |
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| 作者姓名： | 鲍飞鸿 NGUYEN Tan-lo 李昕熠 潘明争 鲍景富 |
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| 作者单位： | School of Electronic Engineering，UESTC，Chengdu Sichuan 611731，China,School of Electronic Engineering，UESTC，Chengdu Sichuan 611731，China,School of Electronic Engineering，UESTC，Chengdu Sichuan 611731，China,School of Electronic Engineering，UESTC，Chengdu Sichuan 611731，China and School of Electronic Engineering，UESTC，Chengdu Sichuan 611731，China |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(U1430102) |
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| 摘 要： | 方块谐振器的品质因数(Q)很高，但是插入损耗也很大。为了得到低相噪的微机电系统(MEMS)振荡器，需要进一步提高方块谐振器的Q值，降低谐振器的插入损耗。通过支撑梁位置的合理设计可以达到极小的锚点损耗，从而实现非常高的品质因数。采用二阶面切变模态方块谐振器的设计方法，表现出了很多的优越性：Q值更高，动态电阻更小(在间隙为0.25 μm时达到82.1 Ω)。基于这种新型谐振器设计出的振荡器实现的相位噪声为：–156 dBc/Hz@1 kHz。
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| 关 键 词： | 微机电系统谐振器 二阶模态 锚点损耗 相位噪声 |
| 收稿时间： | 2016/3/29 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2016/4/29 0:00:00 |
A 10 MHz oscillator using square MEMS resonator |
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| BAO Feihong,NGUYEN Tan-lo,LI Xinyi,PAN Mingzheng and BAO Jingfu.A 10 MHz oscillator using square MEMS resonator[J].Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology,2016,14(5):820-824. |
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| Authors: | BAO Feihong NGUYEN Tan-lo LI Xinyi PAN Mingzheng and BAO Jingfu |
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