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微电子技术用高分散性超细金粉
作者姓名:杜红云 潘云昆 等
作者单位:昆明贵研铂业股份有限公司,昆明650221
摘    要:研制用于微电子技术的印刷型球形金粉和焊接型片状金粉。球形表面光滑的金粉PAuC-3粒度分布范围窄,粒度小,用于印刷型金导体,具有良 好的导电性、印刷性和线分辨率,膜表面平整度、清晰度、背光孔隙度高,收缩率、流延率以及厚膜切面密度小。鳞片状金粉粒度较大,且粒度分布范围宽,用于焊接型金导体浆料中形成欧姆接触,满足焊接强度的要求。

关 键 词:微电子技术 高分散性 超细金粉 球形金粉 片状金粉
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