| 邻近效应校正函数及参数确定 |
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| 引用本文： | 覃志国,刘志杰. 邻近效应校正函数及参数确定[J]. 微细加工技术, 2001, 0(4): 21-25,5 |
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| 作者姓名： | 覃志国 刘志杰 |
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| 作者单位： | 信息产业部电子第四十八研究所, |
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| 摘 要： | 对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨，并在此基础上确定了函数中的各参数的算法。
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| 关 键 词： | 高斯圆束 矢量扫描 邻近效应 半导体集成电路 |
| 文章编号： | 1003-8213(2001)04-0021-05 |
Determination of Proximity Effect Correction Function and Its parameters |
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| QIN Zhi?guo,LIOU Zhi?jie. Determination of Proximity Effect Correction Function and Its parameters[J]. Microfabrication Technology, 2001, 0(4): 21-25,5 |
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| Authors: | QIN Zhi?guo LIOU Zhi?jie |
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| Abstract: | The proximity effect correction function in Gauss beam vector scan patterning is studied in detail.The algorithm of the parameters in the function are defined. |
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| Keywords: | Gauss beam vector scan proximity effect backscattering forward scattering critical dosage |
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