| 溶胶-凝胶法制备掺Er3+:Al2O3/SiO2/Si光波导薄膜 |
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| 引用本文： | 王兴军,杨涛,雷明凯. 溶胶-凝胶法制备掺Er3+:Al2O3/SiO2/Si光波导薄膜[J]. 中国激光, 2004, 31(Z1) |
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| 作者姓名： | 王兴军 杨涛 雷明凯 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在热氧化的SiO2/Si(100)基片上提拉法制备掺EP:A12O3光学薄膜.采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(ARM),X射线衍射分析(XRD)研究了掺Er3+:Al2O3光学薄膜的形貌、厚度以及结构等特性.结果表明,在氧化的SiO2/Si(100)基片上获得了厚度为1.2 μm,固溶Er3+的面心立方结构γ-(Al,Er)2O3和单斜结构θ-(A1,Er)2O3的薄膜.薄膜表面光滑、平整,无明显的表面缺陷.掺EP:Al2O3薄膜晶粒分布均匀,平均晶粒直径为50～200 m,表面起伏度为10～20 nm.测量了10 K下掺0.1 mo1%～1.5 mo1%Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光(PL)谱,获得了中心波长为1.533μm的发光曲线.PL强度随Er3+掺杂浓度的增加而下降,相应的半峰宽(FWHM)也从45 nm减小到36 nm.Sol-gel法制备掺Er3+:Al2O3/SiO2/Si光学薄膜满足有源光波导放大器基体材料的性能要求.
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| 关 键 词： | 光学薄膜 掺Er3+光波导放大器 溶胶-凝胶法 |
Er3+-Doped Al2O3/SiO2/Si Optical Waveguide Films Prepared by the Sol-gel Method |
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