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| 硅／硅直接键合界面的AES分析 | |
| 作者姓名： | 刘光廷 詹娟 |
| 作者单位： | 东南大学电子工程系(刘光廷)，东南大学电子工程系(詹娟) |
| 摘 要： | 本文应用AES分析的方法,对硅/硅直接键合界面进行了研究,给出了实验结果,并对实验结果进行了分析论证。 |
| 关 键 词： | 硅 直接键合 界面 AES分析 外延 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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