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| 真空退火以LiF和CaF2薄膜结晶性能的影响 | |
| 作者姓名： | 万媛 李德杰 |
| 作者单位： | 清华大学电子工程系，北京100084 |
| 摘 要： | 研究了真空退火对玻璃衬底上热蒸发沉积的LiF和CaF2薄膜的结晶性能的影响。X射线衍射分析结果表明，在420℃温度下，随着退火时间的增长，LiF薄膜的结晶状况明显改善；在460℃温度下，随着退火时间的增长，CaF2薄膜的结晶状况越来越好。 |
| 关 键 词： | 真空退火 氟化锂 氟化钙 场发射显示器 LiF薄膜 CaF2薄膜 结晶性能 X射线衍射 电子传输层 |
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