| 聚合物阵列波导光栅复用器的研究 |
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| 引用本文： | 赵禹 崔占臣 等. 聚合物阵列波导光栅复用器的研究[J]. 光电子．激光, 2002, 13(11): 1097-1100 |
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| 作者姓名： | 赵禹 崔占臣 等 |
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| 作者单位： | 1. 集成光电子国家重点实验室,吉林大学实验区,长春,130023
2. 吉林大学化学学院,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划资助项目(G2000036604)，国家高技术研究发展计划资助项目(2001AA312160) |
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| 摘 要： | 介绍了聚合物阵列波导光栅（AWG）复用器的基本原理，进而用Al掩模制做聚合物AWG光波导。结果表明：AWG器件的制做工艺，Al掩模技术明显优于厚胶掩模技术。用这种技术制备的器件，其结构指标与理论设计相符合而且波导在1.55μm处实现了单模传输。
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| 关 键 词： | 阵列波导光栅 AWG 复用器 光波导 Al掩模 单模 铝掩模 聚合物 光学器件 |
| 文章编号： | 1005-0086(2002)11-1097-04 |
| 修稿时间： | 2002-04-29 |
Study on Polymeric Arrayed Waveguide Grating Multiplexers |
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