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| 纳米β-Ga2O3在不同氧环境的表面形貌研究 | |
| 作者姓名： | 张法碧 王长杰 肖骁 李琦 孙堂友 傅涛 肖功利 刘兴鹏 陈永和 李海鸥 |
| 作者单位： | 桂林电子科技大学信息与通信学院,广西桂林 541004 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;广西科技厅基地与人才专项;广西高校引进海外高层次人才百人计划;广西精密导航技术与应用重点实验室基金 |
| 摘 要： | 纳米材料由于其量子尺寸效应和不同的表面形貌,具有多种独特的性能,β-Ga2O3也因为较大的禁带宽度和优秀的化学物理性质而作为下一代半导体候选材料.为解决β-Ga2O3纳米材料的表面形貌控制问题,用CVD合成制备氧化镓纳米结构,在硅衬底上用氧化镓粉末作为前驱体,分别将不同氧气流量输入管道内,形成了不同形貌的纳米结构.利用... |
| 关 键 词： | 氧化镓 纳米线 纳米带 纳米球 氧气流量 |
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