单晶硅炉用炭/炭复合材料埚帮使用寿命的影响因素研究北大核心

针对炭/炭埚帮在单晶硅拉晶过程中不断受到硅蒸气的腐蚀以及硅料与石英坩埚的共同挤压等,使得埚帮出现破损报废问题,根据埚帮在热场中的破坏机理,从CVD设备规格、预制体的编织方式、热解炭涂层、产品密度、高温处理温度、加工次数等几个方面研究了对埚帮使用寿命的影响。结果表明,采用小炉型沉积,轴向采用无纬布,环向采用炭纤维缠绕,斜向±45°采用长纤维缠绕,以炭纤维体积比为1∶3∶1的比例,分别与炭纤维网胎针刺成型的预制体,经高温热解炭涂层,产品密度为1.55 g/cm^3以上,机械加工2次,并且在1850℃高温处理下,所制得埚帮达到了的设计寿命。