|
|||||
|
|
| FDC系统在PECVD设备管理中的应用研究北大核心CSCD | |
| 引用本文： | 周立金哲山董杰周东淇张猛杨晓东胡毓龙.FDC系统在PECVD设备管理中的应用研究北大核心CSCD[J].真空科学与技术学报,2019(9):815-818. |
| 作者姓名： | 周立金哲山董杰周东淇张猛杨晓东胡毓龙 |
| 作者单位： | 1.北京京东方显示技术有限公司100176; |
| 摘 要： | 针对液晶显示领域等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备原理和结构,构建基于FDC(Fault Detection&Classification)系统的PECVD设备智能化管理模式。通过FDC系统收集PECVD的设备和工艺参数,进行参数的相关性分析并设置监控模型,实时监控关键参数,智能输出锁定异常设备,提升PECVD设备智能化管理水平。 |
| 关 键 词： | 等离子增强化学气相沉积 FDC系统 监控模型 设备智能化管理 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |