| 一种双自由度双级解耦微机械陀螺的特性分析 |
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| 引用本文： | 陈伟平,韩天,王浩,陈宏,刘晓为.一种双自由度双级解耦微机械陀螺的特性分析[J].传感技术学报,2007,20(11):2391-2394. |
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| 作者姓名： | 陈伟平 韩天 王浩 陈宏 刘晓为 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,15001;哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,15001;哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,15001;哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,15001;哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,15001 |
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| 摘 要： | 为了降低微机械陀螺的机械耦合和改善工作稳定性,提出了一种新颖的双自由度双级解耦微机械陀螺.建立并求解了该陀螺的动力学方程,并从理论上分析了陀螺的系统特性.利用数值求解工具MATLAB模拟了陀螺的幅频特性,结果表明当品质因子从50变化到1 000时,平坦区带的幅度和相位变化很小.理论和模拟均证实了该陀螺在选择适当的工作区带时,能获得较高的工作稳定性.
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| 关 键 词： | MEMS 微机械陀螺 双自由度 解耦 |
| 文章编号： | 1004-1699(2007)11-2391-04 |
| 修稿时间： | 2007年5月17日 |
Characteristics of a 2-DOF and doubly-decoupled micromachined gyroscope |
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| CHEN Wei-ping,HAN Tian,WANG Hao,CHEN Hong,LIU Xiao-wei.Characteristics of a 2-DOF and doubly-decoupled micromachined gyroscope[J].Journal of Transduction Technology,2007,20(11):2391-2394. |
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| Authors: | CHEN Wei-ping HAN Tian WANG Hao CHEN Hong LIU Xiao-wei |
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| Abstract: | A 2-DOF and doubly-decoupled micromachined gyroscope was presented. The dynamics equation of the gyroscope was build. Based on the equation, the system characteristics were researched, theoretically. The amplitude-frequency response was simulated with MATLAB. Both the theoretical and simulation results indicate that when the gyroscope operates in the flat region it can obtain robust operation against air damping. |
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| Keywords: | MEMS |
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