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MOS器件热载流子效应的测试方法
引用本文:Zhang Weidong.MOS器件热载流子效应的测试方法[J].西安电子科技大学学报,1997(4).
作者姓名:Zhang  Weidong
作者单位:西安电子科技大学微电子所(张卫东,郝跃),上海交通大学(汤玉生)
摘    要:对当前MOS器件中应用广泛的两种热载流子效应测试方法及其应用进行了详细论述.还对MOS器件的热载流子效应的参数提取进行了讨论

关 键 词:MOSFET,热载流子,测试
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