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| BaTiO_3薄膜的磁控溅射生长及特性研究 | |
| 引用本文： | 吴彩云,季小兵,范叔平,周咏东,褚君浩,王康杰.BaTiO_3薄膜的磁控溅射生长及特性研究[J].固体电子学研究与进展,2001,21(3):361-365. |
| 作者姓名： | 吴彩云 季小兵 范叔平 周咏东 褚君浩 王康杰 |
| 作者单位： | 1. 苏州大学物理系 2. 中国科学院 3. 苏州新业电子有限公司 |
| 基金项目： | 本文得到国家高技术航天领域青年基金（编号：863-2.00.4 |
| 摘 要： | 用射频磁控溅射方法制备了 Ba Ti O3 (BT)薄膜。用扫描电镜 (SEM)观察了 Ba Ti O3 薄膜表面形貌、截面结构。电子探针分析表明样品具有良好的组份均匀性。介电特性研究表明材料同样具有较好的微结构 |
| 关 键 词： | BaTiO3薄膜 射频磁控溅射 扫描电镜 介电特性 |
| 文章编号： | 1000-3819(2001)03-361-05 |
| 修稿时间： | 2000年1月3日 |
Sputtering Growth of BaTiO3 Thin Films and the Films Property Studies |
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| WU Caiyun,JI Xiaobing,FAN Shuping,ZHOU Yongdong.Sputtering Growth of BaTiO3 Thin Films and the Films Property Studies[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2001,21(3):361-365. | |
| Authors: | WU Caiyun JI Xiaobing FAN Shuping ZHOU Yongdong |
| Abstract: | BaTiO 3 thin films have been prepared by magnetic RC sputtering deposi tion technique. The SEM images and the spectrums showed that the prepared BaTiO 3 films have good microstructure and even organization. Similar result could be drawn by measuring the films dielectric property. |
| Keywords: | BaTiO 3 thin films magnetron sputtering SEM dielectric property |
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