| PI电容湿度传感器结构改进与性能分析 |
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| 引用本文： | 苏凤,陈向东.PI电容湿度传感器结构改进与性能分析[J].传感器世界,2007,13(7):30-33. |
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| 作者姓名： | 苏凤 陈向东 |
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| 作者单位： | 西南交通大学;西南交通大学信息科学与技术学院 |
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| 摘 要： | 本文分析了电容型湿度传感器的电极和感湿膜的几何形状,设置感湿膜单元结构为圆柱体或者瓶径体等形状,增大接触面积以减少响应时间,整体感湿膜单元排列成圆环形阵列,上电极也采用圆环形阵列排列,覆盖在感湿单元阵列上方.最后对设计的传感器灵敏度,响应时间等性能进行了分析,得出了有益的结论.
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺 电容湿敏元件 圆柱体 圆电极 阵列 |
| 文章编号： | 1006-883X（2007）07-0030-04 |
Improvement And Performance Analysis Of The PI Capacitive Humidity Sensor |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polyimide capacitive humidity sensor cylindrical body rounded electrode matrix |
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